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真空机械手SRBZ820C-SMSX/G
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关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次,SEMI认证S2,F47,逢迎个性化设想具有手臂长度、自由度可选,手指及接口用户可定制的特性,耐高温、耐腐化,静态纠偏和碰撞庇护功用。

简介

Introduction

机械手接纳耐高温手指有隔热设想,可用于安排高温托盘,短时间耐高温300℃以上。指部、腕部乖巧的设想理念低落了接触面的外表粗拙度,加大热阻。同时具有乐音小、振动小、运转安稳、精度高档特性。具有更活络的碰撞庇护功用,有用庇护机械手和客户晶圆。全新的轨迹计划,进步活动节奏,进步了用户产能。在半导体前道高端装备中普遍使用,鞭策了海内半导体产业链的前进,有用的支持了海内装备商的开展。

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参数

Parameter

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