PINUS1-B
关键字导读: PECVD PVD ETCH MEMS

形貌:直驱机电构造,全新的IO模块,具有先辈的防碰撞庇护功用及输入旌旗灯号支硬件中止功用,具有SEMI认证。满意个性化设想撑持用户定制,手臂长度可选,可为客户供给接口及结尾定制效劳。

简介

Introduction

直驱机电构造具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,体系运转的安稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户能够按照需求设置成互锁,传感器检测等功用。输入旌旗灯号支硬件中止功用,便利客户设置AWC等位置锁存功用使用。带有安全区设置功用和活络的碰撞庇护功用,削减用户误操纵招致的各类丧失。带有大屏幕机器人示教器,便利调试职员利用,并撑持热插拔功用。能够按照客户使用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z轴路程,耐高温耐腐化特性等。


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参数

Parameter

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