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TTS-2000 SORTER
关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:一体化水平高,自动化水平高,安全区庇护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制,具有新松自立研发的控制器,Aligner,便利在视窗察看的可拆卸单元门,易挪动框架,带有断绝的电扇 过滤体系,可拆分的装备构造,从而包管装备干净、牢靠的运转……

简介

Introduction

SORTER是一个工场质料传输装备,是一个与SEMI尺度兼容的界面体系,能够手动大概共同AGV或OHT的承载程度传输晶圆。该体系供给单线接口供工场掌握,丰裕的传输间距与工场交互和简朴的方法供野生效劳。占地面积小,接纳无X轴的双臂机械手,经由过程双轴复合活动实现取放片,极大的进步了传片服从的同时而又低落了产物保护本钱。内部全新的气体导流构造,包管内部空间干净度可以满意iso class 1级别,包管晶圆传输历程的干净度。内部带有多重互锁庇护,从软件到硬件,多重包管晶圆传输历程中的宁静,职员与装备的宁静。


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参数

Parameter

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