首页> 产物中心 > 干净机器人 > > Pre-Aligner预瞄准机SALN-612A-2V
Pre-Aligner预瞄准机SALN-612A-2V
关键字导读: TRACK ETCH CVD PVD MOCVD

形貌:定位精度高,瞄准速率快,网络化控制器,适用于Notch和Flat缺口范例,接纳真空负压吸附。

  • Pre-Aligner预瞄准机SALN-612A-2V
腾博会官网诚信为本
简介

Introduction

晶圆预对准是晶圆搬运以及全部IC制造历程中的主要环节,晶圆的定位与辨认都需求Pre-aligner的到场。晶圆预瞄准的目标是计较晶圆的偏疼并找到其缺口,进而抵偿其偏疼并将缺口转至一预设标的目的,为下一步的晶圆辨认或处置做好筹办。新松Pre-Aligner具有定位精高、瞄准速率快等长处,大大收缩了晶圆的传输与处置工夫,进步了晶圆的消费服从。


更多详情,请单击新松干净产物资料库

参数

Parameter

腾博会官网诚信为本

Pre-Aligner图纸.PNG