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TTS-3000 EFEM
关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:一体化水平高,自动化水平高,安全区庇护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制……

简介

Introduction

新松不断致力于供给半导体晶圆加工和其他庞大的制造情况所需的高机能、超干净和久经考验的可靠性。公司胜利研发了真空传输平台,该平台是集成大气机器人,预瞄准机等部件的综合性产物,能够给客户供给晶圆传送的一体化计划。产物具有很强的适应性,以满意特定的使用需求。鞭策了海内半导体产业链的前进,有用的支持了海内装备商的开展。满意半导体制造商的希冀和要求。


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参数

Parameter

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